中国智能传感器产业发展之路——江苏篇（上）

据了解，目前，长三角地区已集聚了全国50%以上的智能传感器企业。经过多年的创新发展，江苏智能传感产业产业在国内有了一席之地、处于领先行列，产业技术创新活跃，产业链上下游生态建设快速发展，在南京、苏州、常州、无锡等地形成了具有一定规模的产业集聚。

关于江苏省智能传感器产业发展情况和规划内容，感知芯视界编辑部将分多篇展开。上篇将聚焦江苏省苏州市传感器产业概况。

图源：苏州发布 摄影：高志欣

苏州概况

苏州有2500多年历史，自古经济繁荣，明清为全国经济文化中心、第一商业都会。新中国成立以来，苏州先后经历乡镇工业崛起、外向型经济腾飞、开放型创新经济等发展阶段，成长为中国最强地级市。

苏州的传感器产业主要集聚在苏州工业区。二十余载持续培育，苏州工业园区传感器企业初步形成了以“设计-晶圆制造-封装测试”为核心，以设备、原材料及服务产业为支撑的产业链，尤其在MEMS传感器领域拥有较好的产业基础，已成为国内产业链较完整、企业集聚度较高、人才储备和技术开发水平较领先的区域之一。

据查询梳理，苏州没有针对传感器产业发布总结和规划。从集成电路这一大类中，我们也可以从中知晓苏州发展传感器的细分情况。3月8日，《2020年苏州市集成电路产业发展白皮书》（以下简称“白皮书”）正式发布，系统梳理当地集成电路产业发展基础与成效，围绕“加快发展现代产业体系，推动经济体系优化升级”谋划布局创新发展新优势。

《白皮书》指出，近年，苏州集成电路产业发展迅速，目前全市拥有集成电路及相关企业230余家，形成了以“集成电路设计—晶圆制造—集成电路封装测试”为核心，设备、原材料及服务产业为支撑，由数十家世界知名企业组成的集成电路产业链，产业集聚态势明显，2020年产业整体销售收入同比增长21.3%。

空间布局和产业链生态

一、苏州工业区

苏州工业园区位于苏州城东，1994年2月经国务院批准设立，同年5月实施启动。行政区划面积278平方公里（其中中新合作区为80平方公里），常住人口81.3万，2019年实现GDP2743亿元，公共财政预算收入370亿元，进出口总额871亿美元，城镇居民人均可支配收入超过7.7万元。区内拥有博世、恩智浦等世界一流传感器企业。

成立一年以内，苏州工业区迎来了国际大厂集中落地。比如1994年12月，韩国三星株式会社在苏州工业园兴办半导体组装和测试工厂；1995年，日立半导体、超威半导体在苏州成立分公司。2001年和舰科技落户苏州，同年，飞利浦半导体在苏州建设集成电路装配及测试工厂；2002年，快捷半导体在苏州工业区建设封测厂及仓库……

中国电子信息产业发展研究院发布2020传感器十大园区排名 ，苏州工业园区总指标高达99.2%，位列第一。从规模上看，整个中国而言，苏州工业园区已具备最完整、最优的MEMS产品技术创新链，已初步建立了较为完善的MEMS产业生态体系，涵盖研发设计、代工平台、封装测试、集成应用、设备与材料等MEMS产业链相关环节，培育了一批创新型骨干企业。

其中集聚了敏芯微电子、明皜传感、纳芯微电子、迈瑞微电子、苏州感芯微、慧闻纳米、芯动科技等设计研发企业；和舰芯片制造（苏州）股份有限公司等晶圆制造企业；晶方科技、力成科技、通富超威、日月新、京隆科技等封测企业；江苏南大光电、江苏格朗瑞科技有限公司、若名芯半导体等材料设备企业。

目前，园区已建成填补我国MEMS产业创新链空白的6英寸微纳机电制造（MEMS）中试平台；出台《苏州工业园区关于促进微纳电子机械系统产业发展实施细则(试行)》；推动成立中国半导体行业协会MEMS 分会；引进多家MEMS相关科研院所；截至2019年底累计培育MEMS技术及相关应用企业超140家。

苏州纳米城

苏州纳米城位于中新合作苏州工业园区，由苏州纳米科技发展有限公司开发建设，包括苏州纳米城I区、II区、III区，占地面积近1800亩，截至2020年12月累计建成载体近50万平方米，集聚各级领军人才250+。

其MEMS中试量产平台是国内首个商业化运作的6、8英寸MEMS器件研发、中试和批量化生产基地，开展包括硅基MEMS、以及氮化镓等三代半产品工艺研发、中试、量产服务，现有设备170余台套，形成了年产50000晶圆的批量生产能力。

中科院苏州纳米所

成立于2006年，由中科院与江苏省人民政府、苏州市人民政府和苏州工业园区共同出资创建。2017年6月，苏州纳米所入选第二批国家双创示范基地。

其纳米加工平台适用于微纳电子、光电子器件、微纳光机电系统、各种传感器和生物芯片等研制开发。针对应用基础和具有应用前景的科学与技术研究，集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的加工装备的研究基地；具有孵化器功能，为企业全方位开放的服务体系。

作为院地共建的国家级研究所，苏州纳米所根据国家战略需求和区域产业发展需求，面向全国复制推广“研究部+青年创业工场+产业社区”的苏州纳米产业发展模式，与多地政府联合共建产线平台，打造产业高地。

2016年12月，苏州纳米所与张家港市人民政府、张家港高新区合作共建中科院苏州纳米所张家港研究院，致力于第三代化合物半导体等领域的共性技术研发、外延技术服务、公共检测平台建设、人才项目引进和产业化，搭建半导体外延公共服务平台和公共检测平台，创建政产学研协同创新的科技成果转化平台。

2018年11月，苏州纳米所与佛山市政府、佛山市南海区政府经友好协商，决定在佛山市南海区共建中科院苏州纳米所广东(佛山)研究院，投入不少于12亿元建设经费。按照计划，中科院苏州纳米所广东（佛山）研究院将围绕化合物半导体建设8吋纳米加工中试平台，着力打造服务于半导体产业的高水平技术公共服务平台。

二、昆山·周庄

昆山是全国百强县之首，积极融入产业全球化，引进国际资本和技术产业为走向世界打造核心战略方向，形成传感器产业等优势产业集群10个。

昆山市传感器集聚涵盖传感器设计、晶圆制造、封测测试等，代表企业有锐芯微电子、双桥传感器、灵科传感等，慧闻纳米科技在昆山建成了国内首条年产千万级芯片的MEMS气体传感器生产线。作为战略性新兴产业，先后引入昆山华天、澜起科技、中科曙光、日月光半导体（昆山）等重点项目。

据悉，昆山周庄发展传感器产业起步早、起点高。早在1998年11月，昆山与中科院合作的中科昆山高科技产业园就在周庄落户。2000年12月，该园被科技部批准为国家火炬计划昆山传感器产业基地。2005年中国传感器信息网总部落户周庄。

2005年开始，区内引进来自日本、澳大利亚、新西兰、加拿大、美国以及中国香港、中国台湾等国家和地区的11家企业，引进外资2.5亿美元。

年产红外、光电、霍尔、热敏、超声波、压力、气敏、图像等八大类传感器4.5亿个；倾角数显水平仪、自动灯开关、红外报警器、光纤连接器等传感器相关应用产品500万套；产品95%以上销往欧、美以及东南亚等国家和地区。已形成以传感器及其应用产品、铁气体磁性材料、计算机内存模块为主的三大高新技术产品群。

三、张家港

近年来，张家港重点发展化合物半导体、新能源汽车等五大主导战略性新兴产业，也已形成LED、磁传感、化合物半导体、功率半导体等半导体特色产业集群。

值得一提的是，“融入上海”一直以来都是张家港的重要发展战略。2017年7月，“超越摩尔基金”签约张家港。据介绍，“超越摩尔”基金由上海微技术工业研究院(简称工研院)、国家集成电路产业投资基金(简称大基金)、张家港市政府及企业共同设立，采用市场化运作模式，专注于“超越摩尔”产业领域的股权投资与并购，重点投资传感器、MTM核心技术及物联网应用创新企业。基金总规模50亿元。

据悉，“超越摩尔”基金投资的多维科技，已成为张家港市本土高端磁传感器芯片领军企业。多维科技于2010年在张家港市注册设立，是一家磁传感器领域的IDM公司，拥有先进的磁阻传感器特殊工艺线以及配套的模组产线。

另外，今年3月，《张家港市创新型县市（市）建设方案（2018-2020）》新鲜出炉，画定了今后三年张家港“科技支撑产业发展”的路线图，其中，上海工研院张家港磁传感器创新中心被作为14个科技支撑产业发展重大项目进行建设。

2021年部分项目（排名不分先后）

博世微机电系统(MEMS)传感器测试项目

在苏州工业园区2021年工作动员会上，博世宣布投资3.6亿元人民币，以扩建其位于苏州的微机电系统(MEMS)传感器测试项目。其中，将新增1.2亿元用于实验室研发投入，扩建后无尘车间总面积达3100平方米，达产后预计年销售额增加30亿元人民币，年进出口贸易额100亿元。

华锝先进半导体项目

6月30日，苏州高新区与华锝先进半导体（苏州）有限公司签约，华锝先进半导体项目落户苏州高新区。项目一期产线将建立符合华为体系标准的MEMS声学传感器的封测基地，主要客户有小米、科大讯飞等；二期将引入国内首创MEMS硅麦克风及射频滤波器的WLP晶圆级封装产线，该晶圆级封装为芯片流片工艺最后一道关键工艺，华锝先进半导体（苏州）有限公司将拥有自主晶圆级封装相关自主技术知识产权。

苏州珮凯晶圆部件精密再生净洗项目

7月20日，苏州珮凯晶圆部件精密再生净洗项目签约落户中新苏滁高新区。中新苏滁高新区消息显示，珮凯滁州项目建成达产后，将完成年产精密再生部件100万件、相关零部件制造60万件的生产布局，预计可实现产值2亿元、税收2000万元。

华天科技昆山厂投产传感器晶圆级封装项目

华天科技昆山厂晶圆级先进封装项目今年1月6日投产。项目达产后，可年新增传感器高可靠性晶圆级集成电路先进封装能力36万片，年新增产值10亿元。

人才资源和创新资源

苏州目前多项科技创新指标位居全国前列。其中，自主申报入选国家级重大人才工程创业类146人，连续8年位居全国大中城市首位；科创板上市企业32家，位列全国第三；高新技术企业9772家，位列全国第五；万人有效发明专利拥有量68.85件，位列全国第五。

这些数字的上升，背后都离不开一个最重要的因素：苏州高度倚重和大院大所的合作。

早在 1998 年，苏州就与中科院签署全面合作框架协议，正式拉开院地合作序幕。目前，中科院在苏建设的科技载体平台达30多家，占中科院在全国布局总数的 20% ，各类人才在这里齐聚，形成特色鲜明的“中科院效应”。另外，清华大学已经在苏州建设了12个科技创新载体、研发机构，100多项清华重大科技成果在苏州转化，2000多名清华大学校友来苏创新创业。

具体传感器产业创新资源主要包括重点科研院所、公共技术服务平台、企业工程技术研发中心等。

目前苏州已集聚了中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中科院电子学研究所苏州研究院、苏州智能制造研究院、江苏省产业技术研究院智能传感技术研究所、智能传感器产业研究院、中国兵器集团214研究所苏州研发中心等MEMS领域的重点科研院所。

先后建立了6、8英寸MEMS制造中试平台、纳米加工&测试分析和运算平台、MEMS传感器联合研发创新中心等服务平台，培育了微机电传感器、超深亚微米与纳米级集成电路封装测试、高端QFN半导体封装测试等市级以上工程技术研究中心。

扶持政策

今年4月，苏州市出台《2021苏州市促进集成电路产业高质量发展的若干措施》（简称“《若干措施》”），进一步打造促进集成电路产业发展的政策“大礼包”，围绕促进产业集聚、鼓励创新发展、完善生态体系、优化发展环境和附则5个方面出台扶持政策。

《若干措施》最后附则称，所指集成电路产业范围主要涵盖：集成电路设计、制造、封装测试、关键设备和材料，MEMS，化合物半导体，分立器件等产业门类。

人才引进政策

7月10日，苏州重磅发布《苏州市人才制度改革十五条》、《关于进一步鼓励支持留学人员来苏创新创业的若干措施》、等人才新政。

针对科技领军人才，苏州市人才制度改革指出，推行“校地双聘制”，支持在苏高校、科研院为其提供教授岗位；针对博士后，鼓励企业类设站单位为留苏博士后做出制度安排，同等给予30万元安家补贴。并且建立“高层次人才编制池”，对在苏高校、科研院所围绕重大战略需求引进的特殊人才，按规定予以事业编制保障。

营商环境

当今时代，优化营商环境是城市竞争力的重要体现。近年来，苏州市深入贯彻落实党中央决策部署，推动“放管服”改革不断走向深入，倾力打造了“苏州最舒心”营商服务品牌。

全力打造更加公平公正的法治环境。近年来，苏州市紧盯“苏州最舒心”营商服务品牌目标，在全国首发《苏州市法治化营商环境建设指标体系》，全面提升营商环境法治水平。2020年11月，全国地级市首个国际商事法庭——苏州国际商事法庭在苏州自贸片区设立，成为城市开放的标志、营商环境的品牌。

全力打造更加高效便捷的政务环境。苏州工业园区推出的一站式服务中心成为企业办理业务的“加速器”,实现了各类业务预约、登记的一次性办理和一站式服务。

全力打造更加开放有序的投资环境。今年2月19日苏州市集中签约投资高达800亿，吸引了大批高科技项目和世界五百强企业投资项目。对成功IPO上市的企业和成功挂牌新三板的企业，苏州市还给予大额补助。

下一期，感知芯视界将推出中国智能传感器产业发展之路——江苏篇（中）,聚焦江苏省南京、无锡、徐州三地传感产业情况，敬请关注。