靶材行业深度研究报告：国产替代+技术革新，高端靶材需求强劲

（报告出品方/作者：东方证券，刘洋）

一、金属靶材为薄膜沉积核心材料，广泛用于平板显 示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域

（一）分类方式：按应用可分为半导体靶材、平板显示靶材、 太阳能电池靶材、记录存储靶材等

靶材按应用可分为半导体靶材、平板显示靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材。靶材制备位于 产业链的中游，从产业链来看，靶材上游原材料材质主要包括纯金属、合金以及陶瓷化合物三类。 下游应用市场则较为广泛，但整体来看主要集中在平板显示、信息存储、太阳能电池、半导体四 个领域，四大板块约合占比 97%。

此外根据其形状、材质不同，溅射靶材也有多种分类方式：

1） 按形状分类：可分为长靶、方靶、圆靶和管靶。其中常见的靶材多为方靶、圆靶，均为实心 靶材。近年来，空心圆管型溅射靶材由于具有较高的回收利用率，也在国内外得到了一定推 广。据立坤钛业官网相关信息介绍，在镀膜作业中，圆环形的永磁体在靶材的表面产生的磁 场为环形，会发生不均匀冲蚀现象，溅射的薄膜厚度均匀性不佳，靶材的使用效率大约只有 20%～30%。目前，为了提高靶材的利用率，国内外都在推广可围绕固定的条状磁铁组件旋转的空心圆管型溅射靶材，此种靶材由于靶面 360°都可被均匀刻蚀，因而利用率可由通常 的 20%～30%提高到 75%～80%。

2）按材质，可分为金属靶材（纯金属铝、钛、铜、钽等）、合金靶材（镍铬合金、镍钴合金 等）、陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）；

（二）行业现状：全球靶材市场稳步增长，日美在高端领域优势明显

1、行业规模：预计 2020年全球靶材市场规模约 188 亿美元，我国靶材市场规模也将达到 315 亿 元（折合 46 亿美元）

根据江丰电子与阿石创招股说明书相关数据以及部分下游市场数据，我们对靶材四大领域进行了 拆分估算预测，整体来看，预计 2020 年全球靶材市场规模约 188 亿美元，2014-2020 年 CAGR 为 6.5%，中国靶材市场规模也达到了 46 亿美元。2014-2020 年 CAGR 为 13.5%，国产化替代进 程不断加快。

2、产品结构：与全球靶材市场结构相比，我国靶材市场结构中平板显示靶材与半导体靶材比例 相对较高，记录媒体靶材与太阳能电池靶材比例相对较低。据测算，2020年全球靶材结构中平板 显示靶材占比约 39%、记录媒体靶材占比约 33%、太阳能电池靶材占比约 17%、半导体靶材占比约 8%。我国靶材市场结构中平板显示靶材占比约 48%、记录媒体靶材占比约 31%、太阳能电 池靶材占比约 9%、半导体靶材占比约约 9%。与全球靶材市场结构相比，我国靶材市场结构中平 板显示靶材与半导体靶材比例相对较高，记录媒体靶材与太阳能电池靶材比例相对较低。

3、竞争格局：全球靶材市场呈寡头竞争格局，日美在高端溅射靶材领域优势明显。目前，全球 溅射靶材市场主要有四家企业，分别是 JX日矿金属、霍尼韦尔、东曹和普莱克斯，市场份额分别 为 30%、20%、20%和 10%，合计垄断了全球80%的市场份额。其中美国、日本跨国集团产业 链完整，囊括金属提纯、靶材制造、溅射镀膜和终端应用各个环节，具备规模化生产能力，在掌 握先进技术以后实施垄断和封锁，主导着技术革新和产业发展，在中高端半导体溅射靶材领域优势明显。

国内溅射靶材主要应用于中低端产品，但部分靶材生产企业已经逐渐突破关键技术门槛，国产铝、 铜、钼等靶材逐渐崭露头角。我国溅射靶材产业起步较晚，目前具备规模化生产能力和较强研发实力的企业较少，溅射靶材主要应用于中低端产品。但近年来随着国家政策的鼓励与资金的支持， 部分企业已经突破了关键技术门槛，国产铝、铜、钼等靶材逐渐崭露头角。我国溅射靶材行业主要上市公司有江丰电子、有研新材、阿石创、隆华科技。

有研新材：主要生产半导体靶材。已实现镍铂、钴、钨、铜等十余款 12英寸高纯金属溅射靶材产 品的关键技术突破，多款产品通过中芯国际、长江存储以及新加披、韩国等国内外高端集成电路 厂商验证，并批量供货，客户覆盖中芯国际、大连 intel、台积电、联电、北方华创等芯片制造和 设备企业；公司大尺寸靶材占比持续增加，8-12 英寸靶材占比已达到靶材整体销量的三分之二， 其中 12 英寸靶材销售数量较 2019 年增长 115%；2020年公司先进封装用高纯靶材销售量继续保持全国领先。

江丰电子：靶材业务多元化扩展，产品在半导体、太阳能光伏和面板领域均有覆盖。主要产品为 各种高纯溅射靶材，包括铝靶、钛靶、钽靶、钨钛靶等，主要应用于半导体（主要为超大规模集 成电路领域）、平板显示、太阳能等领域。在半导体领域，公司已成为台积电、SK 海力士、中芯 国际、联华电子等厂商的供应商；在平板显示领域，公司已成为京东方、华星光电等全球知名面 板厂商的供应商。

隆华科技：在平面显示靶材行业处于国内领先地位。拥有丰富靶材产品系列组合，四丰电子和晶 联光电分别在钼靶和 ITO 靶材业务均属于行业龙头，同时在钼合金靶材和铜靶材等产品市场推广 也取得积极进展。四丰电子用户包括京东方、华星光电、天马微电子等企业，覆盖了国内主要使 用钼靶材的企业，且市场占有率越来越高，经过多年研发，公司大尺寸宽幅钼靶已开始批量供货， 成为了新的增长点。

阿石创：集镀膜材料研发、生产、销售等为一体的综合性平板显示镀膜材料企业。阿石创在面板 领域主要生产钼、铝、铜、钛及 ITO 靶材，产品除面板、触控外还应用于光学器件、太阳能光伏 和汽车/建筑玻璃镀膜等领域。开拓了华星光电、彩虹光电、中电熊猫等客户。产品远销日本、美 国、德国、韩国等国家。

（三）行业壁垒：拥有技术、客户双重壁垒，行业护城河明显

1、技术壁垒：靶材制造和溅射镀膜技术要求较高，五大核心技术铸牢行业护城河。

高纯溅射靶材属于技术密集型产业，对生产技术、机器设备、工艺流程和工作环境都提出了非常 严格的要求。长期以来，以美国、日本为代表的溅射靶材生产商在掌握核心技术以后，执行非常 严格的保密和专利授权措施，这对新进入行业的企业设定了较高的技术门槛，尤其对于新产品开 发来说，不仅开发周期较长，而且技术要求高，这就为溅射靶材生产企业的研发能力、技术水平 和生产工艺提出了更高的标准。

通常来看，溅射靶材生产过程可分为金属提纯、靶材制造、溅射镀膜、终端应用四个环节：

靶材制造环节是在溅射靶材产业链条中对生产设备及技术工艺要求最高的环节，溅射薄膜的品质 对下游产品的质量具有重要影响。靶材制造环节首先需要根据下游应用领域的性能需求进行工艺 设计，然后进行反复的塑性变形、热处理来控制晶粒、晶向等关键指标，再经过水切割、机械加 工、金属化、超生测试、超声清洗等工序。溅射靶材制造所涉及的工序精细且繁多，工序流程管 理及制造工艺水平将直接影响到溅射靶材的质量和良品率。目前制备靶材的方法主要有铸造法和 粉末冶金法。对于难熔金属，也可采用熔炼法。

溅射镀膜环节：溅射机台长期被美国、日本等跨国集团垄断。在溅射镀膜过程中，溅射靶材需要 安装在机台中完成溅射反应，溅射机台专用性强、精密度高，市场长期被美国、日本跨国集团垄 断。具体来看，镀膜设备大体可分成真空形成系统、发射源和沉积系统、沉积环境控制系统、监 控系统、传动机构系统 5 部分，但目前国产供应商多集中在中低端产品，中高端市场占比极小。 如发射源和沉积系统，尽管国内有能力制作热蒸发系统，但普遍使用的电子枪系统和溅射电源设 备依然依赖进口，而在 RF 离子源方面，已有国内企业打破技术封锁成功研发出高端国产设备。

除靶材制造和溅射镀膜环节外，超高纯金属提纯技术也具有较高技术壁垒。尤其是先进半导体等 高端制造行业所需金属纯度在 5N5 甚至 6N 及其以上。单纯的金属提纯无法满足靶材要求，而超 高纯铜、超高纯铝等核心技术多掌握在霍尼韦尔、日矿、东曹等美、日企业手中，这些巨头占据 80%以上超高纯领域的市场份额，并且持有专有技术，但近年来我国部分企业在金属提纯方面已 经取得了较大进步，江丰电子和阿石创在铝靶材领域、隆华科技在钼钯材和 ITO 靶材领域、有研 新材在铜靶材均有突破。

综合纯化与制备流程的技术来看，高纯溅射靶材主要包括五大核心生产技术。参考长沙鑫康新材 料官网《高纯溅射靶材是影响靶材质量的关键之五大核心生产技术》一文，综合纯化与制备流程 的技术来看，能够掌控高端靶材市场的核心技术主要包括： a.超高纯金属控制和提纯技术、b.晶 粒晶向控制技术、c.异种金属大面积焊接技术、d.金属的精密加工及特殊处理技术、e.靶材的清洗 包装技术，是获取高端靶材的必备技术。

2、客户认证壁垒：以半导体靶材为例，客户认证周期一般需要 2-3年，且采取供应商份额制，新 进入行业的企业面临着较高的客户认证壁垒。显示面板行业客户认证周期也高达 1-2 年。

高纯溅射靶材行业存在严格的供应商认证机制，一般需要 2-3 年。由于高纯溅射靶材技术含量高， 其产品质量、性能指标直接决定了终端产品的品质和稳定性，属于客户的关键原材料。因此，高 纯溅射靶材行业存在严格的供应商认证机制，只有通过严格的行业性质量管理体系认证，同时满 足下游客户的质量标准和性能要求，才能成为下游客户的合格供应商。通常情况下，需要经过供 应商初评、报价、样品检测、小批样使用、以及稳定性检测等一系列评价过程，一般需要 2-3 年。

半导体芯片制造企业采取供应商份额制，新进入行业的企业面临着较高的客户认证壁垒。溅射靶 材供应商在通过下游客户的资格认证后，下游客户会与溅射靶材供应商保持长期稳定的合作关系， 不会轻易更换供应商，并在技术合作、供货份额等方面向优质供应商倾斜。，一般来看下游商家 会选择三家左右的稳定供应商。且排名第一的供应商处的采购量最大，排名第二的供应商处的采 购量较小，而排名第三的供应商则处于备胎位置。因此新进入行业企业需要在技术水平、产品质 量、后续服务和供应价格等方面显著超过原有供应商，才有可能获得供货订单，因此，新进入行 业的企业面临着较高的客户认证壁垒。

显示面板行业客户认证周期也需要大约 1-2 年时间。液晶面板行业对溅射靶材的品质和稳定性要 求很高，对供应商资格认证壁垒较高，认证周期很长。一般情况下，在 1 条 8.5 代生产线上完成 靶材的认证，大约需要 1 年时间，在高端 TFT-LCD 以及 OLED 显示领域，认证周期则长达 1～2 年。如果一家用户单位拥有多条生产线的，则必须在上一条生产线完成认证后，才能开始在下一 条生产线上开展认证。

光伏用 ITO 靶材与面板用技术互通，率先绑定产业龙头者有望获取先发优势。HJT 光伏电池（异 质结电池）在制备 TCO 导电膜阶段需要 ITO 靶材，其制作工艺和技术类似于面板用 ITO 靶材， 但 ITO 靶材各家参数差别巨大，需要与下游厂家联合测试开发，率先绑定产业龙头者有望获取先 发优势，高筑行业壁垒。（报告来源：未来智库）

二、半导体靶材：产业转移加速靶材国产替代，技术 革新推动铜钽需求提升

（一）需求：晶圆产能加速向中国大陆转移，21-25 年我国 靶材需求增速或达 9.2%

1、靶材在半导体中的应用

半导体芯片行业是金属溅射靶材的主要应用领域之一，也是对靶材的成分、组织和性能要求最高 的领域，靶材纯度要求通常达 99.9995%（5N5）甚至 99.9999%（6N）以上。半导体芯片的制作 过程可分为芯片设计、晶圆制造、芯片封装和芯片测试四大环节，其中，在晶圆制造和芯片封装 这两个环节中都需要用到金属溅射靶材。其中，靶材在晶圆制造环节主要被用作金属溅镀，常采 用 PVD 工艺进行镀膜，通常使用纯度在 5N5 及以上的铜靶、铝靶、钽靶、钛靶以及部分合金靶 等；靶材在芯片封装环节常用作贴片焊线的镀膜，常采用高纯及超高纯金属铜靶、铝靶、钽靶等。

半导体芯片用金属溅射靶材的作用，就是给芯片上制作传递信息的金属导线。具体工艺过程为， 在完成溅射工艺后，使各种靶材表面的原子一层一层地沉积在半导体芯片的表面上，然后再通过 的特殊加工工艺，将沉积在芯片表面的金属薄膜刻蚀成纳米级别的金属线，将芯片内部数以亿计 的微型晶体管相互连接起来，从而起到传递信号的作用。

半导体靶材市场在半导体晶圆制造材料市场中占比约 2.6%，在封装材料市场中占比约 2.7%。据 SEMI 统计，2011-2015 年，在晶圆制造材料中，溅射靶材约占晶圆制造材料市场的 2.6%。在封 装测试材料中，溅射靶材约占封装测试材料市场的 2.7%。全球半导体靶材市场规模与全球半导体 材料市场规模变化趋势相近。

2、全球半导体靶材市场规模预测

半导体行业已步入新一轮景气周期，预计2025年全球半导体晶圆制造材料销售额预计将达到 604 亿美元，封装材料销售额将达到 248 亿美元。根据 wind 及 SEMI 数据显示，2011-2020 年，全球 半导体晶圆制造材料销售额年均复合增长率为 4.1%，封装材料销售额年均复合增长率为-1.6%， 2020 年，因 5G 普及、新冠肺炎疫情推升宅经济需求，全球半导体需求攀高，全球半导体材料销 售额年增 4.9%至 553 亿美元，其中晶圆制造材料占比 63%，销售额为 349 亿美元；半导体封装 材料 204 亿美元。据 Gartner，经过 2019 年的周期性调整，半导体行业已步入新一轮景气周期。

我们假设 2020-2025 年全球半导体晶圆制造材料销售额 CAGR 与 IC Insights 预测全球晶圆制造 市场规模 CAGR 基本保持一致，为 11.6%，预计 2025 年全球半导体晶圆制造材料销售额预计将 达到 604 亿美元，同时假设 21-25 年全球半导体封测材料销售额 CAGR 与 Frost & Sullivan 预测 全球封测行业市场规模 CAGR 保持一致，为 4.0%，封装材料销售额将达到 248 亿美元。

假设 2016-2025 年溅射靶材占晶圆制造材料销售额的比例维持在 2.6%。在封装测试材料中，溅 射靶材占封装测试材料的比例维持在 2.7%。我们预计 2025 年全球半导体靶材市场规模将达到 22.4 亿美元。

3、中国半导体靶材市场规模预测

半导体产业加速向国内转移，靶材行业正步入快速发展期，预计 2025 年我国半导体靶材市场规 模将达到 43 亿元（折合 6.7 亿美元）。在政府政策的支持和我国相对巨大的成本及市场优势下， 半导体从正加速向中国大陆转移，一方面包括台积电、联电等在内的多家晶圆代工企业将在大陆 投放产线，另一方面大陆晶圆代工厂包括中芯国际、华力微电子等也有多条产线投产。随着半导 体晶圆产能陆续向中国转移，国内半导体制造行业的体量将迅速扩张，靶材行业也步入了快速发 展期，据 MIR 睿工业数据显示，2020 年我国半导体靶材市场规模约 29.86 亿元（折合 4.33 亿美 元），2013-2020 年 CAGR 约 16.15%。

据 ICInsights 的预测，到 2025 年中国大陆半导体芯片市场规模将达到 2230 亿美元，2020-2025 年间的年复合增长率将达 9.2%。我们假设半导体材料增速与大陆生产半导体芯片市场规模增速持 平，且 2021-2025年靶材在半导体材料销售额中的占比与 2020年持平，维持在 4.5%。预计 2025 年我国半导体靶材市场规模将达到 43 亿元（折合 6.7 亿美元）

（二）供给：日美厂商占比约占 90%，国产铜、铝等靶材已 取得定点突破

1、国外主要半导体供应商基本情况

日矿金属、东曹公司以及美国的霍尼韦尔、普莱克斯公司，四家靶材制造国际巨头，占据了全球 半导体芯片用靶材市场约 90%的份额。半导体靶材技术含量极高，处于靶材应用场景顶端，市场 集中度极高，日矿金属、东曹公司以及美国的霍尼韦尔、普莱克斯公司，四家靶材制造国际巨头， 占据了全球半导体芯片用靶材市场约 90%的份额。凭借着先发优势，美日等国的靶材企业已经具 备了从金属材料的高纯化制备到靶材制造的完备的技术垂直整合能力，在全球高端电子制造用靶 材市场占据着绝对的领先地位。

2、国内主要半导体靶材供应商基本情况

在政策引导和支持下，我国半导体用铜、铝、钛等靶材已实现定点突破，江丰电子（铝靶、钛靶、 钽靶）、有研新材（铜靶、钴靶）是国内半导体用溅射靶材的龙头企业。

产能方面：未来 2-3 年我国半导体靶材预计将新增 10 万块以上产能

江丰电子：1）现有产能：目前拥有半导体或平板显示用高纯铝靶材 36920 块、高纯钛靶材 11895块、高纯铜靶材1000块、高纯钨靶材500块、高纯钴靶材1000块，高纯钽靶材4614块。 2)新增产能：2021 年 12 月公司向特定对象发行股票拟募集资金总额不超过 16.52 亿元，用于建 设宁波江丰电子年产 5.2 万个超大规模集成电路用超高纯金属溅射靶材产业化项目、浙江海宁年 产 1.8 万个超大规模集成电路用超高纯金属溅射靶材产业化项目。项目建成后预计将新增 7 万块 半导体靶材产能，项目建设期预计为 24 个月。

有研新材：1）现有产能：目前拥有约 2 万吨半导体产能；2)新增产能：公司年产 30 吨集成电路 用超高纯铜新材料项目也正稳步推进，此外 2022 年 3 月公司也发布了有研亿金靶材扩产项目公 告，拟投资 6.46 亿元新建山东德州新建生产基地和改扩建昌平基地项目，预计将在 2025 年底前 达产，项目达产后公司产能将扩充 73000 块/年。

（三）应用趋势：下游技术革新，溅射靶材逐步向大尺寸、多 品种、高纯度化发展

芯片制程工艺已经从 130nm 提升至 7nm，晶圆尺寸也已实现了 8 英寸到 12 英寸的转变,，对溅 射靶材性能要求大幅提升。溅射靶材的技术发展趋势与下游应用领域的技术革新息息相关，随着 应用市场在薄膜产品或元件上的技术进步，溅射靶材也需要随之变化，随着半导体技术的不断发 展，集成电路中的晶体管和线宽的尺寸越来越小。芯片制程工艺已经从 130nm 提升至 7nm，与之 对应的晶圆尺寸也已实现了 8 英寸到 12 英寸的转变，此外台积电、三星等企业也正在加速推进更 高端的芯片制程工艺研发与生产。为了满足现代芯片高精度、小尺寸的需求，对电极和连接器件 的布线金属薄膜的性能要求越来越高，这就对溅射靶材的性能提出了更高的要求。推动溅射靶材 逐步向大尺寸、多品种、高纯度化发展。

1、趋势 1：大尺寸

大尺寸是靶材的重要发展方向，但随尺寸增加，靶材在晶粒晶向控制难度呈指数级增加，对技术 要求就越高。晶圆尺寸越大，可利用效率越高。.12 英寸晶圆拥有较大的晶方使用面积，得以达 到效率最佳化，相对于 8 英寸晶圆而言，12 英寸的可使用面积超过两倍。大尺寸晶圆要求靶材也 朝着大尺寸方向发展。

2、趋势 2：多品种

半导体芯片行业常用的金属溅射靶材主要种类包括：铜、钽、铝、钛、钴和钨等高纯溅射靶材， 以及镍铂、钨钛等合金类的溅射靶材，其中铝与铜为两大主流导线工艺。目前芯片生产所使用的 主流工艺中同时存在铝和铜两种导线工艺，一般来说 110nm 晶圆技术节点以上使用铝导线， 110nm 晶圆技术节点以下使用铜导线。钛靶和铝靶通常配合起来使用，常作为铝导线的阻挡层的 薄膜材料，钽靶则配合铜靶使用，作为铜导线的阻挡层的薄膜材料。

随着晶圆制造朝着更小的制程方向发展，铜导线工艺的应用量在逐步增大，因此，铜和钽靶材的 需求将有望持续增长。在晶圆制程选择上，从全球晶圆厂产能建设情况来看，12 寸晶圆厂是目前 主流建设方向。随着晶圆制造朝着更小的制程方向发展，铜导线由于具有更低的电迁移效应，及 更低的电阻，有降低功耗、提高运算速度等作用，应用量在逐步增大。据 SEMI 数据显示，如今 12 英寸晶圆约占 64%，8 英寸晶圆占比达 26%，其他尺寸晶圆占比 10%。12 英寸晶圆已经成为 市场的主流。

但传统的铝靶由于在可靠性和抗干扰性等方面的性能依然较为突出，也仍然具有巨大的市场空间。 如汽车电子领域的芯片大量使用铝钛材料的 110nm 以上工艺以确保可靠性。因此，芯片制程工艺 的进步并不意味着原有制程工艺及其材料被淘汰，因可靠性、抗干扰性、低成本等优势，110nm 以上技术节点的芯片产品也具有巨大的市场空间。

3、趋势 3：高纯化

高纯度甚至超高纯度靶材是高端集成电路半导体芯片的必备材料，通常半导体靶材纯度要求通常 达 99.9995%（5N5）甚至 99.9999%（6N）以上。在下游应用领域中，半导体产业对溅射靶材和 溅射薄膜的品质要求最高，随着更大尺寸的硅晶圆片制造出来，相应地要求溅射靶材也朝着大尺 寸方向发展，同时也对溅射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。溅射薄膜的纯度与溅射靶材 的纯度密切相关，为了满足半导体更高精度、更细小微米工艺的需求，所需要的溅射靶材纯度不 断攀升，通常半导体靶材纯度要求通常达 99.9995%（5N5）甚至 99.9999%（6N）以上。

目前国内溅射靶材的高纯金属原料多数依靠日美进口。但部分企业在部分金属提纯方面已取得了 重大突破。全球范围内，美、日等国凭借着先发优势和技术专利壁垒，依托先进的提纯技术在产 业链中居于十分有利的地位，议价能力强，国内溅射靶材的高纯金属原料多数也依靠日美进口。 但经过多年的靶材技术开发，近年来部分企业已在部分金属提纯方面已取得了重大突破，已开始 逐步实现国产替代。（报告来源：未来智库）

三、平板显示靶材：国产替代+产品迭代，我国显示面板靶材需求有望持续高速

（一）需求：预计 25 年我国市场规模约为 50 亿美元，21- 25 年 CAGR 为 18.9%

1、靶材在平板显示中的应用

若根据工艺的不同，FPD 行业用靶材也可大致分为溅射用靶材和蒸镀用靶材。其中溅射用靶材主 要为 Cu、Al、Mo 和 IGZO 等材料。IGZO 为 TFT 激活层，一般用于手机 LTPO OLED 技术和大 尺寸 OLED 技术。IGZO 也可以被用于 LCD 的制造和 X-ray 探测器的制造。在国内的 LCD 生产 中，BOE B18 和 B19 用 IGZO 作为 TFT 激活层。在老旧产线中，京东方也利用 IGZO 来替代 aSi以生产精度更高的 X-ray探测器。ITO和 IZO为透明导电电极。其中 ITO被广泛的运用于 OLED 和 LCD 的制造中，而 IZO 时而会被用于顶发射 OLED 的阴极来使用。Cu、Al、Mo 和 Ti 等金属 则做为金属走线，被广泛的运用于 Array 的 TFT 生产中，其中钼或者合金材料靶材常作为 OLED 器件的阴极使用，此外铝靶也可作为阴极使用。

蒸镀用靶材一般为 Ag 和 Mg 两种金属。Ag 和 Mg 合金一般用于小尺寸 OLED 面板产线中的阴极 制作。除此以外，Ag 也可以作为顶发射 OLED 器件中的阳极反射层使用。

其中薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)是当前的主流平面显示技术，金属溅射靶材则是制造 TFT-LCD 过程中最关键的材料之一。薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)具有轻薄、功耗低、成本 低等优点，目前 TFT-LCD 大约占 80%以上的显示面板市场份额。这类显示面板是由大量的液晶 显示单元阵列组成(如 4K 分辨率的屏幕含有 800 多万个显示单元阵列)，而每一个液晶显示单元， 都由一个单独的薄膜晶体管(TFT)所控制和驱动。

薄膜晶体管阵列的制作原理，是在真空条件下，利用离子束流去轰击固体，使固体表面的原子电 离后沉积在玻璃基板上，经过反复多次的“沉积+刻蚀”，一层层(一般为 7－12 层)地堆积制作出 薄膜晶体管阵列。这种被轰击的固体，即用溅射法沉积薄膜的原材料，就被称作溅射靶材。

除 LCD 外，近年来快速发展的 OLED 面板产业靶材需求增长也十分明显。OLED 典型结构是在 氧化铟锡（ITO）玻璃上制作一层几十纳米厚的发光材料，ITO 透明电极作为器件的阳极，钼或者 合金材料作为器件的阴极。从阴阳 2 极分别注入电子和空穴，在一定电压驱动下，被注入的电子 和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层并复合，形成激子并使发光分子产生单态 激子，单态激子衰减发光。

平板显示制造中主要使用的靶材为钼铝铜金属靶材和氧化铟锡（ITO）靶材，部分平板显示企业 也会用到钛靶、钽靶、铌靶、铬靶以及银靶等。其中钼靶材和 ITO 靶材合计需求占比在 60%~70% 左右。但由于各家企业所采用的溅射工艺不同，其所选的溅射靶材也有区别。如，京东方用铜靶、 铝靶、钼靶和钼铌靶，韩国三星用钽靶、钛靶，但不用钼铌靶，中电熊猫用钛靶，但不用钼靶、 钽靶等。以 8.5 代液晶显示面板生产线为例，一条 8.5 代线每年靶材的大致消耗 120 套铝靶、110套铜靶、60 套钼靶、5 套钼铌 10 靶。此外据新材料产业《新型显示产业的 ITO 靶材市场探讨》， 目前国内单条 8.5 代线 ITO 靶材年需求量约 40 吨，6 代线 ITO 靶材年需求量约 20 吨。

3、显示面板靶材市场规模预测

受益平板显示面板需求上涨和我国平板显示面板国产替代提升，预计 2025 年我国 FDP 用靶材市 场规模将达到 320 亿元（折合约 50 亿美元），预计 21-25 年 CAGR 为 18.9%。整体来看，全球 显示面板出货量增长已趋于平稳，参考 Frost&Sullivan 数据，2021-2025 年全球显示面板出货量 增速不断降低，预计 2024 年全球显示面板出货量将达到 2.73 亿平方米，2020-2024 年年均复合 增速仅为 2.9%。我国平板显示面板出货量增速明显快于全球显示面板增速，2020-2024 年年均复 合增速为 6.3%，,国产替代趋势明显，预计 2024 年我国显示面板出货量将占全球显示面板出货量 的 42.5%。

受益平板显示面板需求上涨和我国平板显示面板国产替代提升，我国显示面板靶材市场预计也将 保持较快增长，参考 IHS 预测，预计 2025 年我国 FDP 用靶材市场规模将达到 320 亿元（折合约 50 亿美元），预计 21-25 年 CAGR 为 18.9%。在全球显示面板靶材中的占比将提升到 57.7%。

（二）供给：日企占据国内市场主导地位，国产替代逐渐提速

我国显示面板靶材高度依赖进口，日企在国内市场仍然占据主导地位，但国产替代逐渐提速。当 前该领域竞争格局以攀时、世泰科、贺利氏、爱发科、住友化学、JX 金属等为代表的国外少数几家跨国集团占据主导地位，其中攀时、世泰科等厂商是全球钼靶材的主要供应商，住友化学、爱 发科等厂商占据了全球铝靶材的大部分市场，三井矿业、JX 金属、优美科等厂商是全球 ITO 靶材 的主要供应商，爱发科、JX 金属等厂商是全球铜靶材的主要供应商。国内以隆华科技、江丰电子、 阿石创、有研新材、先导稀材为主，国产替代正逐渐加速。具体来看：

1、铝靶：目前国内液晶显示行业用铝靶材主要被日资企业主导，由于价格较低，是平板显示行 业常用的溅射靶材，但近年来正逐步被铜靶所替代。

外企方面：爱发科电子材料(苏州)有限公司大约占据国内 50%左右的市场份额。其次，住友化学 也占有一部分市场份额。

国产方面:江丰电子从 2013 年左右开始介入铝靶材，目前已大批量供货，是国产化铝靶材的龙头 企业。另外，南山铝业、新疆众和等企业也具备高纯铝的生产能力

2、铜靶：从溅射工艺的发展趋势上来讲，对铜靶材的需求比例一直在逐步增加，加之，近几年 国内液晶显示行业的市场规模整体上有所扩大，因此，平板显示行业对铜靶材的需求量将继续呈 上升趋势。

外企方面:爱发科电子材料(苏州)有限公司几乎垄断着国内铜靶材市场，市场占有率在 80%以上， 且该公司近几年营收的增加额，主要来自于铜靶材销量的增加。

国产方面:有研新材具备高纯铜原料生产能力，但目前主要致力于半导体行业用圆形靶材生产，对 液晶显示行业铜靶仅有 500 吨产能;洛铜集团具备高纯铜生产能力但不生产靶材，且高纯铜原料价 格和进口原料相比，在价格方面无明显竞争优势;江丰电子引进海外高端人才，致力于开发高纯铜 原料和铜靶材，即将批量生产。

3、钼靶：钼靶材国内需求占全球超过一半，国产化率约有 50%。钼靶具体可分为条靶、宽靶和 管靶 3 种，其中，4. 5 代、5. 5 代和 6 代线一般使用宽幅钼靶，而 8. 5 代及以上世代线用使用组 合条靶或管靶。

（1）组合条靶:

外企方面: 国外的奥地利攀时、德国世泰科、日本爱发科等企业已基本退出了这部分市场。

国产方面: 国内钼靶材企业主要集中在洛阳地区，其中，隆华节能下属的洛阳高新四丰电子材料有 限公司占据了国内 60% 多的市场份额，另外，洛阳高科钼钨材料有限公司占据了国内大约 10% 左右的市场份额。

（2）宽幅钼靶:

外企方面: 国外的攀石、世泰科等企业在国内宽幅钼靶材市场占据较大市场。

国产方面: 四丰电子大尺寸宽幅钼靶已经开始批量供货；阿石创和金钼股份两家上市公司也充分利 用各自在宽幅靶材轧制和靶材加工及销售方面的优势开展紧密合作，金钼股份向阿石创销售宽幅 钼靶坯和条形钼靶坯( 条形靶坯由宽幅靶坯切割而成) ，阿石创负责后续绑定等工序和成品销售工 作。

（3）钼管靶：每条 8.5 代线对钼管靶的需求量约为 30 吨/年

钼管靶 8.5 代线及以上常用钼靶，每套包含 12根，每根单重约为 300kg，每套重量约为 3600kg。 由于钼管靶的实际利用率约为 70%，因此，每套钼管靶的成膜重量约为 2500kg。每条 8.5 代线对 钼管靶的需求量约为 30 吨/年。

另外，钼管靶的供应商，除了要通过其面板生产企业的认证外，还要通过钼管靶溅射设备生产商 美国 AKT 公司的认证，并且要被收取钼管靶售价约 5%的认证费。截止 2017 年底，国内采用管 靶溅射设备的生产线只有 1 条，业内也普遍认为钼管靶的发展空间并不大。

4、钼铌 10 合金靶

西部材料下属西安瑞福莱钨钼有限公司和爱发科公司合作，经多次试验攻关，已于2017年成功轧 制出了氧含量小于 1000×10－6，致密度达 99.3%的 Mo-Nb 合金靶坯。

此外金钼集团也已实现高纯大尺寸钼铌管状靶材顺利交付，攻克了大规格钼铌合金靶材制粉、烧 结、加工等关键工艺难题，掌握了大尺寸靶材的核心制备技术。经第三方机构检测，制备出的钼 铌合金靶材各项指标达到要求。在此基础上，项目组又承接了用户管状靶材的订购需求，顺利交 付了 3 套高纯大尺寸钼铌合金管状靶材，且品质优良。钼铌合金管状靶材直径大于 150 毫米、长 度达到 2100 毫米，纯度可达 99.99%，氧含量小于 500ppm。

5、ITO靶材：ITO靶材是由90%的氧化铟与10%的氧化锡配比而成，相对密度要求大于99.5%。 目前全球铟消耗量中 40%～50%以上是用于制备加工 ITO 靶材。

外企方面：据新思界 2020年 8月发布的《国内 ITO靶材需求量 5成依赖进口 国产替代需求较高》 一文介绍，全球 ITO 靶材市场主要供应商有日矿金属、三井矿业、优美科等，其中日矿和三井几 乎占据了高端 TFT-LCD 市场用 ITO 靶材的全部份额和大部分触摸屏面板市场,爱发科也有相关产 品，东曹、日立、住友、VMC、三星、康宁等企业也掌握核心技术。目前中国 ITO 靶材供应约一 半左右依赖进口。本土厂商生产的 ITO 靶材主要供应中低端市场，约占国内市场 30%的份额；而 高端 TFT-LCD、触摸屏用 ITO 靶材几乎全部从日本、韩国进口。

国产方面：近年来，国内多家厂商宣布进入 ITO 靶材领域，但实际量产和导入并不顺利，也尚未 实现批量供应。据集微网调研，目前国内有能力量产并供货的 ITO 靶材厂商有先导稀材，其 ITO 靶材产能预计已经达 1100 吨/年（清远 200 吨 LCD 用 ITO 靶材，100 吨 5G 手机 ITO 靶材，合肥 800 吨），隆华科技全资子公司晶联光电的 ITO 靶材产能已经达到 100 吨/年，且在建 200吨/年， 映日科技的 ITO 靶材产能已经达到 120 吨/年，戊电科技的 ITO 靶材产能已经达到 50 吨/年等，而 阿石创 ITO 靶材产能实际占比较小。

近年来部分国内企业目前也已通过相关认证，在下游市场得到较为广泛的应用。国内的靶材厂商 都正在不断提升技术工艺和生产设备，努力通过 TFT-LCD 试镀测试打开高端 OLED 显示领域的 大门。

（三）应用趋势：预计 OLED 用钼靶与低电阻铜靶成长空间广阔

显示面板用靶材的发展趋势是：大尺寸、低电阻、高纯度、高密度化，高效率化。平板显示器对 于溅射靶材的纯度和技术要求仅次于半导体，一般在 4N 甚至 5N（99.999%）以上。在溅射靶材 应用领域中，半导体芯片对溅射靶材的金属材料纯度、内部微观结构等最为严苛。相较于半导体 芯片，平板显示器对于溅射靶材的纯度和技术要求略低一筹，但随着靶材尺寸的增大，对溅射靶 材的焊接结合率、平整度等指标提出了更高的要求。

钼溅射靶材作为 OLED 显示屏中的关键核心原材料，预计未来会有较快幅度的增长，据 DSCC 测 算，到 2025 年，中国大陆的 Gen6 OLED 产线将消耗约 248Ton 高纯 Mo。钼靶及其合计靶材作 为 OLED 阴极常用材料，通常来看是 OLED 屏幕使用最多的靶材原料，2019 年之前，钼溅射靶 材由国外供应商独家供应，国产化率极低，钼靶原材料的瓶颈也阻碍这我国 OLED 显示行业的发 展。但近年来，金钼股份等国内企业已突破了钼溅射靶材行业壁垒。

如2020年，金钼股份通过自主进行工装技术设计、改造，先后攻克了超宽幅钼靶所用钼板坯的规 格设计、钼基板板型控制、大规格板坯机加工精度控制等技术难题，成功制备出宽 1800mm，长 度 2300mm 的 G6 代钼靶材，产品各项指标已经达到国际先进水平，成功将 G6 代钼整靶推向全 球最先进的 OLED 生产线使用，如三星、京东方。且公司主要产品已经量产，并具有超大（宽幅 ＞1800mm，单重超 600Kg）、超纯（Mo＞99.97%）、超细晶粒等特点，制备难度大，精度要 求高。

据悉 2019 年金钼股份钼靶材产品销售同比增长 222%，跻身成为三星全球第二大供应商。2020 年钼靶材产品销量同比增加 47%。预计随着 OLED 的快速崛起，钼靶未来将保持较高增长。参考 DSCC 数据，预计 2025 年，中国大陆的 Gen6 OLED 产线大约需要消耗 46 Ton 的 Al 和 248 Ton 高纯 Mo。其中京东方、深天马和华星大致会消耗总量的 37%、20%和 17%。

此外，得益于优异的电学性能，铜靶将在显示屏生产得到广泛运用，据 DSCC 测算，中国大陆 Gen 10.5 工厂对高纯 Cu 的需求会从 2021 年 599 吨，逐步增加到 2025 年的 976 吨。G8.5+产线 对高纯 Cu 的需求将会超过 8000 吨。据悉，为满足超高清电视性能需要和未来 4K、8K 产业规 划，现在国内所有的 Gen 10.5 代产线均已采取铜制程。同时，也为了进一步增加高端 IT 产品的刷新率和分辨率，一些较小的产线也逐步开始进行 Cu 制程的改建，不少 Gen 8.5 和 Gen 8.5 代 线也在逐渐的全部或者部分转向Cu制程。预计到2025年，所有G8.5+的产线均会采用Cu制程。

随着 Cu 制程的进一步推广，显示面板厂对 Cu 的需求和依赖也会进一步推高。根据 DSCC 测算， 中国大陆 Gen 10.5 工厂对高纯 Cu 的需求将会从 2021 年 599 吨，逐步增加到 2025 年的 976 吨。 若考虑到 G8.5+产线，预计中国大陆 G8.5+产线每年对高纯 Cu 的需求会超过 8000 吨。

与 Al 不同，Cu 的氧化物不能形成致密保护膜，耐腐蚀较差且扩散性较强，所以在采取 Cu 工艺 时，一般会用 Mo 和 Ti 进行保护。据 DSCC 测算，假设 Gen 10.5 代线均以 Ti 来保护 Cu 线，则 在 2025 年大致一年会消耗 38 吨的高纯 Ti。若考虑到 G8.5+产线，假设在 2025 年，G8.5+的产 线一半采用 Mo，而一般采用 Ti，则在 2025 年，大约需要消耗 640 吨高纯 Mo，372 吨高纯 Ti。

面板 ITO 靶材：预计整体需求相对稳定，但高端 ITO 靶材国产替代需求强劲。ITO 靶材技术难壁 垒高，长期以来一直被外商高度垄断，国产化进展十分缓慢。目前中国 ITO 靶材供应超一半左右 依赖进口。本土厂商生产的 ITO 靶材主要供应中低端市场；而高端 TFT-LCD、触摸屏用 ITO 等靶 材几乎全部从日本、韩国进口。据 ResearchInChina 数据显示，2018 中国 ITO 靶材需求已超过 1000 吨。但其中一半仍需进口，其中多为高端 ITO 靶材，本土企业实现进口替代的空间很大。但 考虑到 OLED 产业对于 ITO 靶材需求相对较小，预计未来面板用 ITO 靶材市场将维持相对稳定。

四、光伏靶材： Hit 量产元年开启，靶材或迎成长机遇期

（一）需求：预计 25 年我国市场规模将接近 38 亿美元,21- 25 年 CAGR 为 56.1%

1、光伏电池发展趋势

光伏领域对靶材的使用主要是薄膜电池和 HIT 光伏电池（本征薄膜异质结电池），目前市场主流 的晶体硅太阳能电池较少用到溅射靶材。太阳能电池主要包括晶硅电池和薄膜电池两大类，但目 前市场主流的晶体硅太阳能电池不用溅射靶材，光伏领域对靶材的使用主要是薄膜电池和 HIT 光 伏电池。其中自 2015 年三洋的 HIT 专利保护结束后，技术壁垒消除，HIT 电池电池开始推广，近 年来发展迅速。薄膜电池近年来在美国也受到了政策的大力鼓励。

光伏电池用靶材形成背电极，靶材溅射镀膜形成的太阳能薄膜电池的背电级主要有三个用途：第 一，它是各单体电池的负极；第二，它是各自电池串联的导电通道；第三，它可以增加太阳能电 池对光的反射。目前太阳能薄膜电池用溅射靶材主要为方形板状，纯度要求一般在 99.99%（4N） 以上。

其中薄膜电池较为常用的溅射靶材包括铝靶、铜靶、钼靶、铬靶以及 ITO 靶、AZO 靶(氧化铝锌) 等，HIT 电池则主要使用 ITO 靶材作为其透明导电薄膜。铝靶、铜靶主要用于导电层薄膜，钼靶、 铬靶用于阻挡层薄膜，ITO 靶、AZO 靶用于透明导电层薄膜。

虽然薄膜电池及 HIT 电池目前占比较低，但从目前的发展趋势来看，CdTe 薄膜电池以及 HIT 电 池成长潜力较大。传统的薄膜电池以硅基为主，但近年来转换效率技术遇到瓶颈，从产品性能与 生产成本上相较晶硅电池无明显优势，企业相继退出、减产，因此传统薄膜电池在太阳能电池占 比不断下降。但随着薄膜电池产品碲化镉（CdTe）电池的推出，薄膜电池有望迎来又一轮的高速 成长期。

薄膜电池：从全球来看，碲化镉是目前为止商业化最成功的薄膜电池。CdTe 材料带隙宽度约 1.5eV，与太阳光谱更匹配，其理论效率达 32%。且在建筑光伏一体化趋势下，碲化镉薄膜电池 相对于传统晶硅电池更容易满足建筑对色彩的多样化需求以及透光率可调，尺寸大小定制等要求， 是建筑光伏一体化最优选择，随着成本的下降未来具有较大的潜力。

此外薄膜电池也是更清洁的可再生能源，碲化镉电池相较晶硅电池具备最小的碳足迹、最快的能 源回收时间和最低的行业生命周期用水，在双碳背景下前景较大。据悉美国近年来正大力推广太 阳能薄膜电池技术，美国太阳能制造商 First Solar 公司也表示，将在俄亥俄州西北部投资 6.8 亿 美元建设第三家碲化镉太阳能工厂。2025 年建成后，该公司太阳能电池板产能将达 6 吉瓦。为约 100 万美国家庭供电。另一家俄亥俄州托莱多太阳能公司正在生产住宅屋顶碲化镉电池板。

据 CPIA 的统计，2020 年，全球 CdTe 组件产量已达 6.2GW，近年来快速增长，有望带动薄膜 电池新一轮的高速成长期。

HIT 电池也因其无光衰、高效的特性，近年来投资热情高涨，据 CPIA 预测，HIT 的市场份额将从 2020 年的 3%增加至 2025 年的 20%左右，2020 年有望成为 HIT 产业化元年。据北极星太阳能 光伏网，HIT 产能也有望从目前的 2GW 增长至 2024 年的 100GW 以上，目前布局 HIT 的企业越 来越多，产业化酝酿开启。2020 年，各企业宣布的 HIT 产能规划接近 50GW，目前已建成的 HIT 产能在3-5GW，根据CPIA预测，HIT的市场份额将从2020年的3%增加至2025年的20%左右。 HIT 电池预计也将带来巨额的光伏靶材产能需求。

2、全球光伏靶材市场规模预测

预计 2025 年全球太阳能电池靶材市场规模有望达到 112 亿美元。2020-2025 年 CAGR 为 28.8%。 HIT 方面，参考 CPIA 预测，我们假设 HIT 的市场份额将从 2020 年的 3%增加至 2025 年的 20% 左右，同时假设参考前瞻产业研究院 HIT 成长变化情况，我们假设 HIT 靶材成本缓慢递减。2025 年下降到 0.041 元/w，薄膜电池方面，由于碲化镉薄膜电池的成功商业化，我们预计全球薄膜电 池渗透率有望继续触底回升，每年提升 0.5%，同时鉴于 2020 年薄膜电池内部结构变化相对已趋 于稳定，我们选取 2020 年薄膜电池成本为 2021-2025 年基数，预计 2025 年全球太阳能电池靶材 市场规模有望达到 112 亿美元。2020-2025 年 CAGR 为 28.8%。

3、中国光伏电池靶材市场规模预测

目前国内光伏电池主要以硅片涂覆型太阳能电池为主，薄膜电池以及 HIT 占比较低，但是未来增 长潜力较大。

薄膜电池方面：政策鼓励叠加销率提升，我国薄膜电池预计将逐步进入加速发展阶段。我国的薄 膜电池以硅基薄膜为主，碲化镉与铜铟镓硒薄膜电池占比小，但随着薄膜电池尤其是碲化镉电池 效率提升叠加政策鼓励，我国薄膜电池预计将逐步进入加速发展阶段。

国内薄膜电池企业数量偏少，主要为成都中建材、杭州龙焱和中山瑞科 3 家。其中龙焱能源碲化 镉薄膜电池板已实现实验室转换效率 20.1%，大组件转化效率超过 14.5%，逐渐接近国外领先碲 化镉电池水平和目前的晶硅电池转换效率，2021 年 10 月，住建部正式发布了国家强制性规范 《建筑节能与可再生能源利用通用规范》， BIPV 需求也进一步提升。据 CPIA，目前国内量产碲 化镉薄膜电池的企业主要为成都中建材、杭州龙焱、中山瑞科三家，但目前产能规模相对较小。

HIT 电池方面，目前通威股份、爱康科技、彩虹新能源、汉能等上市公司相继布局 HIT 电池。其 中通威股份拟在四川成都投资建设 2GWHJT 电池产线，并宣布与捷佳伟创合作研发 200MW，迈 为股份合作研发 200MW 产线；爱康科技拟于江苏湖州建设 5GWHJT 电池产线。国内厂商晋能、 陕西煤业、中智等均在进行 HIT 的尝试。

我们假设 2025 年中国薄膜电池产品类型结构开始与全球趋同，且 HIT 电池与薄膜电池渗透率中 国与全球逐步趋同，预估 2025 年中国太阳能电池靶材市场规模预计将达到约 38 亿美元，20-25 年 CAGR 为 58.2%。

（二）供给：薄膜电池及 HIT 电池市场规模尚小，国内光伏 靶材亦多处于起步阶段

国外头部企业一直在增强自身对太阳能电池的开发与供应。JX日矿金属与爱发科等在行业内处于 领先位置。如如 JX 日矿金属目前已拥有了用于形成 CIGS 薄膜太阳能电池吸收层的 In 靶材（4N） 和 CuGa 靶材（3N~5N）。爱发科在太阳能电池靶材方面也在不断加强产能建设，据 2017 年爱 发科电子材料（苏州）有限公司靶材生产技术改造项目环境影响报告表数据显示，技改后爱发科 （苏州）共拥有半导体及太阳能电池靶材产能 1200 枚/年。

国内薄膜电池及 HIT 电池市场规模尚小，相关企业也较少，多处于起步阶段，其中先导稀材、江 丰电子等产能规模相对较大。由于我国薄膜电池及 HIT 电池市场规模尚小，相关上游生产企业也 较少，目前国内企业中涉及太阳能电池靶材生产的企业主要有江丰电子、先导稀材、四丰电子、 新疆众合等企业，其中江丰电子 2020 年太阳能电池靶材营收仅为 0.216 亿元，占比 1.85%，毛利 率为13.76%，由于太阳能电池靶材要求较低，因此毛利率较其他产品也较低。此外新疆众合的铝 靶、四丰电子的非靶材类钨、钼制品也广泛应用于光伏太阳能行业。先导稀材子公司先导薄膜材 料在清远拥有新型显示及 HIT 异质结太阳能用靶材 160 吨，在合肥具有 750 吨太阳能靶材产能。

此外由于 HIT 电池用 ITO 靶材与面板用技术互通，隆华科技等部分显示面板靶材企业也已开始布 局相关产业龙头。如隆华科技司已向 HIT 电池龙头隆基送样并开展联合测试开发项目，目前已经 通过隆基认证，与下游企业的紧密合作也将助力公司光伏用 ITO 靶材业务的高速增长，确立先发 优势，高筑行业壁垒。

五、记录媒体靶材：趋势难逆，磁记录靶材预计将逐步转向存储芯片靶材

（一）HDD 转向数据中心存储获新生，磁记录靶材目前仍保持高速增长

数据存储可分为光存储、磁存储与半导体存储，目前全球数据存储依然以磁记录为主，SSD 短期 仍然难以替代。数据存储可分为光存储、磁存储与半导体存储，近年来半导体存储发展迅速，预 计光磁记录媒体市场会受到一定侵蚀。但从数据存储量来看，目前磁记录仍然占据主导记录， SSD 短期仍然难以替代。传统的磁存储设备机械硬盘（HDD）由于其储存容量大、储存时间长且 相对于 SSD 更加安全稳定的优点使得其在冷数据存储（占全部数据的 80%）中方面优势较大， 目前数据中心存储也依然以机械硬盘为主.伴随着全球数据量的快速增长，机械硬盘出货容量也保 持快速增长。2020 年全球机械硬盘出货容量已超 1ZB。

光存储技术是用激光照射介质，通过激光与介质的相互作用使介质发生物理、化学变化，将信息 存储下来的技术，主要包括 CD、VCD、DVD、BD 蓝光等技术。整体上来看 CD 等技术占存储比 例较低。

磁记录靶材则多以溅射法制作，常用材料为钴（3N）/镍/铁合金/铬/碲、硒（4N）/稀土- 迁移金 属（3N）等，主要包括铬靶、镍靶、钴靶。由于光记录媒体出货容量占比较小，因此我们本文仅 考虑磁记录情况，按记录媒体的机械形状和驱动方式的不同，磁记录可分为磁鼓、磁带（录音机、 录像机、数据记录）、磁盘（硬盘、软盘）、磁卡等，其中，高密度硬盘领域的磁性薄膜几乎都 是以溅射法制作的，这些磁记录薄膜材料有很高的记录密度。因此也要求溅射靶材具有高纯度、 低气体含量、细晶微结构、均匀的金相、高磁穿透和使用率、优异的电性与机械特性等特点。磁 记录靶材常用材料为钴（3N）/镍/铁合金/铬/碲、硒（4N）/稀土- 迁移金属（3N）等，主要包括 铬靶、镍靶、钴靶。

我国磁记录靶材市场也依然以海外供应为主，中国生产磁记录靶材企业数量和产能也非常有限。 全球机械键盘产量主要集中在东芝、西部数据、希捷三家企业，中国机械键盘产量较小，因此我 国磁记录靶材市场也依然以海外供应为主。

受益于数据存储需求快速增长，全球磁记录媒体靶材依然维持较高增速，预估 2025 年全球记录 媒体靶材金额约为 101 亿美元，2020-2025 年年均复合增速约为 10.6%。2013-2016 年单位机械 硬盘容量所需靶材金额约为 0.049、0.048、0.053、0.056 亿美元/EB，整体上相对稳定，因此我 们假设 2017-2020 年该金额与 2016 年相同，可计算出 2020 年的全球记录媒体靶材金额约为 61 亿美元，2013-2020 年年均复合增速约为 15.6%。若假设单位机械硬盘容量所需靶材金额继续维 持不变，参考全球 HDD 出货量情况，预估 2025 年的全球记录媒体靶材金额约为 101 亿美元， 20-25 年年均复合增速约为 10.6%。

预估 2020 年我国记录媒体溅射靶材市场规模为到 97 亿元（折合 14 亿美元），2013-2020 年年 均复合增速约为 8.9%。由于机械硬盘国产化水平极低，因此我们预计我国机械硬盘靶材市场也增 长较为缓慢，参考 2013-2016 年记录媒体靶材同比情况，我们假设假设 2017-2020 年增速仍然维 持在 9%左右。预估 2020 年我国记录媒体溅射靶材市场规模已达到 97 亿元（折合 14 亿美元）， 我国记录媒体靶材市场规模较小，主要系我国机械硬盘国产化水平极低，以及记录媒体研发重心 主要在半导体存储 SSD，对传统的机械硬盘形成了一定替代。

（二）趋势难逆，传统光磁记录媒体正转向半导体存储

固态硬盘替代机械硬盘已是大势所趋，传统光磁记录媒体靶材预计将逐步向半导体存储芯片靶材 转移。作为新一代硬盘，SSD 在性能、体积、噪音、震动等方面均远胜于 HDD。近几年随着 NAND 闪存技术的不断发展，基于闪存存储的 SSD 性能不断提升，不仅寿命足以支持各类应用场 景，其价格也在持续回落恢复到市场所认同的高性价比。但短期来看，HDD 在数据中心等方面的 优势依然较为突出，SDD仍有部分缺陷尚待攻克，受益于全球数据存储需求的高速增长，HDD与 SSD 在存储容量方面均将保持较快增速，但 SSD 对 HDD 逐步形成侵蚀已成必然。也将带动传统 光磁记录媒体靶材预计将逐步向半导体存储芯片靶材转移。

此外存储芯片需求的上升预计将带来钴靶、钨靶、钽靶等靶材需求上升。据电子工程世界 2018 年《进口靶材免税“天窗”即将到期，或增加 17%关税利好国内厂商》一文介绍，存储器芯片靶 材使用和逻辑芯片的使用种类有很大区别。逻辑里用量大的是铜、钽、钛、铝、钴、镍铂等，这 几种材料占到所有份额的 95%以上，其中铜和钽占采购份额的 85%。铜和钽是逻辑 FAB 里面用 量最大的两种产品，若能掌握铜、钽靶材的生产工艺，则主导逻辑 FAB 靶材。

存储器芯片则分为两个方向，一个是 DRAM，一个是 NAND。

1） DRAM 厂主要种类是钨、钛、钽、铝、钴、铜，用量最大的是钛靶和铝靶，但单块金额较 低。如能掌握钴靶、钨靶、钽靶的研发能力，预测便能掌握较大的 DRAM 份额。铝靶、钛靶的行 业壁垒相对较低，使用较为成熟，国内的江丰、有研等在 FAB 采购份额也均占有一定的比例，对 于高端的钨、钴、钽靶材供应商主要还是以 nikko、Tosol 和 honeywell 等国外企业为主，铜的用 量则相对不大。

2）3D NAND 领域主要使用的靶材为钨，其次是钛，再其次是铜和钽的用量，钨靶的采购额占据 3D NAND 工厂的 70%以上份额，钽靶 Tosol 的市场份额还是有很大的竞争力，Nikko 在钽靶方面 前期做的不如其他家，但是Nikko收购了钽靶的原材料供应商，预计后期Nikko竞争力相对较强。 此外我国的长江存储 32 层堆栈 3D NAND 闪存量产在即，国产 3D-NAND 加速崛起，钨靶在国内 市场需求较大，也是目前我国亟需突破的一款靶材。江丰电子与章源钨业也在高纯钨及靶材方面 取得了较大进步。

六、投资分析

综上，靶材作为半导体、显示面板、光伏电池等的关键原料，预计 2025 年全球市场规模将达 333 亿美元，但目前四家日美巨头占据 80%靶材市场，国产替代需求强烈。近年来随着下游产业向国 内转移以及国内靶材工艺和原料提纯工艺的突破，国产铝、铜、钼、ITO 等品种已取得定向突破， 并进入下游主流客户供应体系。从下游来看，我们认为半导体靶材市场、显示面板靶材市场以及 光伏面板靶材市场未来成长空间较大，预计 2025 年我国半导体靶材市场规模将达到 6.7 亿美元， 21-25 年 CAGR 为 9.2%。显示面板靶材市场规模约为 50 亿美元，21-25 年 CAGR 为 18.9%。光 伏靶材市场规模将接近 38 亿美元,21-25 年 CAGR 为 56.1%。

（本文仅供参考，不代表我们的任何投资建议。如需使用相关信息，请参阅报告原文。）

精选报告来源：【未来智库】。